מכונה שהאשנבים שלה מזכירים את הצוללת מ"עשרים אלף ליגות מתחת לים" ואשר לבדה תופסת כמעט את כל הרוחב של אחד החדרים הנקיים של מעבדת III-V, בפריז-סקליי (Essonne). בפנים, כור מכיל פרוסות סיליקון. לאחר סגירתו, צינורות כניסת הגז מייצרים זרימה על פני הצלחת אשר, לאט לאט, מאפשרת לערום שכבות עוקבות של חומרים III-V על פרוסת הסיליקון. מכונת אפיטקסיה מולקולרית זו היא אחת משמונה מכונות אפיטקסיות (או צמיחת שכבת אטום אחר אטום) במעבדת III-V. קבוצת אינטרסים כלכלית זו נוסדה בשנת 2004 על ידינוקיהet, הצטרפו ב-2011 על ידי ה-CEA לעבוד על מוליכים למחצה III-V - מיועדים כך בגלל השתייכותם לעמודות III ו-V בטבלה המחזורית של מנדלייב.
מוליכים למחצה בעלי תכונות מיוחדות, בעיקר המורכבות מהפקת אור או העברת אותות אלקטרוניים במהירות גבוהה מאוד. הם משמשים בחיישנים לזיהוי אור בגלל הרגישות הגבוהה שלהם לאור אינפרא אדום. אבל גם במיקרו-אלקטרוניקה לטרנזיסטורי כוח, חיוניים לכלי רכב חשמליים. עם יישומים בהגנה ואבטחה עבור מכ"מים ולייזרי כוח, או מגברים בפס רחב."כיום, כל המערכות האופטיות כמו לייזרים מבוססות על מוליכים למחצה III-V», מפרט ז'אן-לוק ביילט, נשיא Nokia Bell Labs בצרפת.
העברות טכנולוגיה
אחד האתגרים שכ-120 החוקרים במעבדת III-V, יחד עם אלו ב-CEA-Leti בגרנובל, עובדים עליהם? שיפור מתמיד באינטגרציה של רכיבי III-V אלו על סיליקון, על מנת להגביר את הביצועים והמזעור תוך הפחתת עלויות. לפיכך, הרכישה העדכנית ביותר של III-V Lab, מכונת אפיטקסיה כימית, מאפשרת לעבוד על פרוסות סיליקון בקוטר 300 מ"מ, הנפוצות ביותר כיום בתעשייה, בהשוואה לכ-100 מ"מ במכונות של הדור הקודם. .
חידוש נוסף: ניתן לבצע בדיקות בזמן אמת של העוביים שהופקדו באמצעות מכשירים הממוקמים מעל הכור. "התהליך מתחיל באפיטקסיה. אנו משתמשים במכונות המסוגלות להלחים בתנאי חום קיצוניים כדי ליצור חיבורים אטומיים, מכיוון שרכיבי III-V, שאינם קיימים באופן טבעי, קשים במיוחד לשילוב על סיליקון. אנחנו משיגים את זה היום», מבטיחה מרים אודארט, מנהלת התקשורת של III-V Lab.
החידושים שפיתחה מעבדה זו היו נושאים להעברות טכנולוגיות, בעיקר ל-Lynred ב-2012 (חיישני אינפרא אדום) ול-United Monolithic Semiconductors (מיקרואלקטרוניקה). עם תקציב שנתי של 25 מיליון יורו, הממומן באופן שוויוני על ידי שלושת השותפים, מעבדת III-V נמצאת כעת בדיון עם הרשויות האירופיות. המטרה: ליהנות מסבסוד נוסף כחלק מחוק צ'יפס אירופי 2, מגלה ז'אן-לוק ביילט.
אתה קורא מאמר מ-L'Usine Nouvelle 3737 - דצמבר 2024
